自动后处理平台

在柔性电子器件的制备过程中，功能层薄膜的后处理会涉及到很多复杂的后处理过程，如热退火、UV光照等。而每种后处理过程都需要借助单独的设备或装置来完成，不仅增加了人工操作的步骤，同时也给器件制备带来很多不确定的影响因素。
AP300自动后处理平台具备多种后处理工艺，可以灵活设计后处理方案，系统自动按照工序设定依次完成各种后处理过程，既降低人工干预频次，也确保后处理工艺的一致性，具有操作简单、可靠性强、自动化程度高等特点。